技术概况
采用高精度玻璃基微加工工艺制备微型原子气室,集成微腔体、光学通道与封装结构,为微型原子钟提供稳定的原子能级跃迁环境,实现超高精度时频信号输出,是微型化高精度原子钟的核心器件。
核心优势
·玻璃材质光学透过率高、化学稳定性强、气密性优异
·腔体尺寸均匀、一致性好,频率稳定性与精度更高
·可微型化、阵列化加工,体积小、功耗低、易集成
·热膨胀稳定,抗环境干扰能力强,长期可靠性高
·兼容 MEMS 工艺,适合批量制造,成本可控
应用领域
广泛应用于5G/6G 通信基站、自动驾驶、量子传感、军事通信等领域。