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1明了一可光刻玻璃介电损耗控制方法。建立中和制效定效应与电损耗的系,实现了可光刻玻璃介电损耗有效小。

2明了超快激光精准诱导玻璃相实现的玻璃通孔形成技玻璃最小孔9μm,通孔密度最大250000 cm-2

3传统通孔充深比限制,实现最大深50:1的超高深比玻璃通孔心金化,解号连续问题,攻克了TGV工程化难题


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